Наименование
|
Страна
|
Изготовитель
|
Марка
|
Год
|
Просвечивающий
электронный микроскоп JEOL JEM-2100
|
Япония
|
Jeol
|
JEM-2100
|
2010
|
Растровый
электронный микроскоп JEOL JSM-7001F
|
Япония
|
Jeol
|
JSM-7001F
|
2009
|
Растровый
электронный микроскоп FEI Quanta 200
|
Нидерланды
|
FEI
|
Quanta 200
|
2006
|
Растровый
электронный микроскоп FEI Quanta 200 3D
|
Нидерланды
|
FEI
|
Quanta 200 3D
|
2007
|
Рентгеновский
дифрактометр Thermo ARL X’TRA
|
США
|
Thermo Fisher Scientific
|
ARL X’TRA
|
2009
|
Сканирующий
зондовый микроскоп NT-MDT Ntegra Prima
|
Россия
|
NT-MDT
|
Ntegra Prima
|
2006
|
Спектрофотометр
Ocean Optics HR 4000
|
США
|
Ocean Optics
|
HR4000
|
2009
|
Зондовая станция
для электрофизических измерений Cascade Microtech Summit 11000M
|
США
|
Cascade Microtech
|
Summit 11000M
|
2013
|
Комплект
оборудования для ИК-спектроскопии Nicolet iS50 FT-IR
|
США
|
Thermo Fisher Scientific
|
Nicolet iS50 FT-IR
|
2013
|
Масс-спектрометр
с индуктивно-связанной плазмой ThermoFisher Scientific iCAP-Qc
|
США
|
Thermo Fisher Scientific
|
iCAP-Qc
|
2012
|
Установка
электронно-лучевой литографии Crestec CABL-9000C
|
Япония
|
Crestec
|
CABL-9000C
|
2013
|
Установка
импульсного лазерного напыления IVO-205-0.3-15
|
Россия
|
Серния
|
IVO-205-0.3-15
|
2015
|
Вакуумная
напылительная установка Torr MagSput-DC-RF
|
США
|
Torr Instruments
|
MagSput-DC-RF
|
2012
|
Система
электронно лучевого напыления Plassys MEB 550 S
|
Франция
|
Plassys
|
MEB 550 S
|
2014
|
Установка
атомно-слоевого осаждения Picosun R200 Advanced
|
Финляндния
|
Picosun
|
R200 Advanced
|
2014
|
Установка
химико-механической полировки BT 370
|
Россия
|
Серния
|
BT 370
|
2014
|
Установка
безмаскового совмещения и литографии Heidelberg Instruments MLA100
|
Германия
|
Heidelberg Instruments
|
MLA100
|
2015
|
Принтер для
прямой печати пассивных элементов Dimatix Materials Printer DMP-2831
|
Япония
|
Fujifilm
|
DMP-2831
|
2015
|
Комплекс для
электрофизических измерений полупроводниковых структур
|
США
|
Cascade Microtech
|
Summit 11000M
|
2018
|
Система для
оптической 3D нанолитографии
|
Германия
|
Nanoscribe GmbH
|
Photonic Professional
|
2018
|
Интерферометрическая
микроскопическая система
|
Япония
|
Nikon
|
Nikon BW-D501
|
2018
|
Система
плазмохимического травления
|
Франция
|
Corial
|
Corial 200I
|
2018
|
Спектроскопический
эллипсометр SER 800
|
Германия
|
SENTECH Instruments GmbH
|
SER
800
|
2018
|