ЦКП МФТИ. Группа атомно-слоевого осаждения (АСО) МФТИ
Группа атомно-слоевого осаждения (АСО) МФТИ была организована в 2007 профессором А.П. Алёхиным, учеником и сподвижником В.Б. Алесковского, изобретателя метода АСО.
В настоящее время группа ведет исследования по всем ключевым направлениям современного АСО, включая проблемы получения как диэлектрических слоев, так и проводящих слоев, обеспечивающие комплексный поход к созданию новых 3D микроэлектронных структур. Еще одним значимым направлением деятельности является разработка биосовместимых покрытий, в том числе и с заданными электрическими свойствами. Некоторые из таких покрытий уже внедрены в серийное производство. Наше оборудование позволяет проводить in situ рентгено-фотоэлектроную диагностику любой стадии роста покрытия, что даёт возможность анализировать ростовые процессы на более высоком уровне точности и воспроизводимости.
Контакты:
E-mail: info@ald-mipt.ru
Руководитель группы:
к.ф.-м.н. Маркеев Андрей Михайлович
amarkeev@mail.mipt.ru