ЦКП МФТИ. Интерферометрический микроскоп Nikon BW-D501
Интерферометрическая микроскопическая система на базе микроскопа Nikon BW-D501
Система предназначена для создания микроскопических изображений по методу светлого, темного поля или поляризации в составе интерферометрической микроскопической системы (3D Профилометра) BW-D501 (Nikon Metrology) субнанометрового вертикального разрешения, основанного на методе сканирующей оптической интерферометрии.
Интерферометрическая микроскопическая система включает в себя следующие позиции.
1. Модуль микроскопа BW-LV150N (корпус микроскопа LV150N (100-240В) со встроенным трансформатором).
Возможные методы исследования: светлое поле, темное поле, ДИК-контраст, поляризация, флуоресценция, двухлучевая интерферометрия. Оптика, скорректированная на бескончность CF60-2. Высоэффективная диодная подсветка.
Минимальный шаг фокусировки - 1 мкм.
Полный ход фокусировки - 40 мм.
Максимальный размер образца - 38 мм.
Максимальный размер образца с дополнительной колонной увеличения штатива - 73 мм.
2. Тринокулярный тубус с возможность установки фото/видеокамеры.
Изображение прямое с максимальным полем зрения 25 мм и углом наклона окулярных трубок не более 22º.
Также имеется промежуточный тубус для установки камеры, который устанавливается на фото/видео выход тринокулярного тубуса и предназначен для совпадения фокальной плоскости изображения и матрицы камеры и C-Mount Adapter- универсальный адаптер для фото/видеокамер.
3. Два УФ окуляра 10X с диоптрийной регулировкой в диапазоне в диапазоне -8…+5.
4. LV-UEPI2 универсальный модуль для исследований в отраженном свете (светлое, темное поле, поляризация).
5. Пятипозиционная насадка для объективов револьверного типа для объективов ESD микоскопа, имеет гнезда для вставки ДИК-призмы для реализации метода ДИК контраста, обеспечивает установку темнопольных объективов.
Резьба устанавливаемых объективов - 32 мм.
6. Объектив с увеличением 5х CFI TU Plan FLUOR BD 5X для наблюдений по методу светлого и темного поля с коррекцией аберраций:
- числовая апертура - 0,15;
- парфокальное расстояние - 56 мм;
- рабочее расстояние - 18,0 мм.
7. Интерферометрический объектив с увеличением 20х CF PLAN DI 20XA для наблюдений по методу двухлучевой интерферометрии, с классом коррекции аберраций не ниже планахроматической:
- глубина фокуса - 1,71 мкм;
- числовая апертура - 0,4;
- оптическое разрешение - 0,86 мкм;
- рабочее расстояние - 4,7 мм.